ASML Holding przeprowadził wstępną ocenę skutków pożaru w fabryce w Berlinie, do którego doszło 3 stycznia br.

Jak stwierdzono, pożar wybuchł w jednym budynku produkcyjnym, a dym częściowo ogarnął sąsiedni budynek. W części tych obiektów produkcja została wznowiona. Pozostałe budynki na terenie zakładu nie zostały naruszone. W sumie zakład obejmuje 32 tys. mkw., pożar dotknął ok. 200 mkw.

Zakład produkuje głównie komponenty optyczne wykorzystywane w systemach litograficznych, jak zaciski waflowe, uchwyty siatkowe i bloki zwierciadeł. Produkty ASML są niezbędnym ogniwem w łańcuchu dostaw na rynku półprzewodników.

Produkcja komponentów DUV została wznowiona. Wystąpiły pewne zakłócenia dotyczące komponentów DUV. Spodziewamy się naprawić to w taki sposób, aby nie wpłynęło to na nasz plan produkcji i przychodów dla DUV – komunikuje koncern.

EUV w płomieniach

Jeśli chodzi o maszyny do litografii EUV (extreme ultraviolet lithography), to pożar dotknął część obszaru produkcji zacisków do wafli, modułu używanego w systemach EUV.

„Wciąż jesteśmy w trakcie opracowywania planu naprawczego dla tego obszaru produkcyjnego i określenia, w jaki sposób zminimalizować potencjalny wpływ na naszych klientów EUV, zarówno w naszym planie produkcji, jak i w naszym serwisie terenowym” – informuje ASML.

Dalsza ocena szkód jest w toku. Dalszych informacji na temat skutków incydentu można spodziewać się 19 stycznia br.

Możliwe opóźnienia

Obecnie większość komponentów produkowanych w fabryce w Berlinie idzie na zaopatrzenie maszyn EUV, a największa część popytu na te produkty pochodzi od producentów półprzewodników.

Jak podaje TrendForce, EUV jest używany przede wszystkim w zaawansowanych procesach produkcyjnych mniejszych niż 7 nm. Obecnie według tej firmy analitycznej ten sprzęt do produkcji wykorzystują TSMC i Samsung do technologii od 3 nm do 7 nm. Jeśli zaś chodzi o DRAM, to Samsung i SK Hynix używają EUV w swoich procesach 1Znm i 1alpha nm.

Według ustaleń TrendForce, czas realizacji dla sprzętu ASML EUV jest już niemały wynosi ok. 12 – 18 miesięcy. Ze względu na długi termin dostawy, holenderski koncern może jednak poczekać na zakończenie wymiany komponentów utraconych w pożarze w czasie niezbędnym do montażu sprzętu.

„Termin realizacji tej wyłącznej dostawy kluczowych maszyn EUV był długi i może wpłynąć na ramy czasowe zaawansowanego przejścia procesu produkcyjnego” – uważa firma analityczna.

Jeśli pożar opóźni dostawę komponentów, nie można wykluczyć, że ASML nada priorytet alokacji produkcji na realizację zamówień i pozyska niezbędne komponenty z innych fabryk.